廢氣處理在半導體制造企業中是一個不可或缺的環保環節，作為大規模、代表先進制造技術的產業，未經過尾氣處理設備（Local Scrubber）治理的廢氣排放將會對環境造成的污染、對先進半導體制程造成很大的影響，即AMC問題，所以要積極做好廢氣排放的處理和控制工作。

選擇尾氣處理設備Local Scrubber 的原因：

在半導體制程生產中，這些制程后殘存的氣體從無塵室通過真空管出來后，需經尾氣處理設備（Local Scrubber）通過燃燒或吸附式等方法先行處理，再排入中央廢氣處理系統。

這是因為半導體制造工作區域離中央廢氣處理系統距離較遠，因此這些廢氣在輸送至中央廢氣處理系統前，在冗長的排氣過程中，可能會因為氣體特性導致引發非預期的氣體泄漏，局部聚積或相互反應，造成風管堵塞、管路腐蝕等問題，嚴重者甚至引發火災爆炸、停止生產和危害現場工作人員的工作安全的后果。

吸附式尾氣處理設備的特點：

1.適用范圍廣。吸附式尾氣處理設備幾乎可處理所有小流量的廢氣。

2.無廢氣產生。通過吸附桶完全處理設備尾氣，不需要耗用水資源，沒有廢水處理問題；

3.安全隱患少。處理時，沒有明火，在無塵室內不產生火源；

4.節省能源。沒有高耗能的需求;

通過上面的解釋，相信您應該對半導體制造企業選擇尾氣處理設備（Local Scrubber）的原因有了些了解，社會的進步對半導體企業提出更高的環保要求，也促進國內半導體廢氣處理技術的進步和發展。感謝您的閱讀！