LED外延片生產過程中金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)工藝會產生大量廢氣，其主要成分為氨氣NH3、氫氣H2，二者均是重要的生產原料，回收利用價值高，不能直排，須通過尾氣處理設備進行無害化處理，方可通入大氣。

目前，工業上尾氣處理設備的常用的方法有燃燒法、水吸收法和化學法等，以及這些方法的組合應用等。

1、燃燒法

MOCVD廢氣中的H2、氫化物、金屬有機化合物等可采用燃燒法處理，同時氨氣在高溫下發生氧化分解反應,生成無害的CO2, N2和H2O等。

2、水吸收法

水吸收法是MOCVD廢氣處理最常用的方法，廢氣中少量的MO源成分經水吸收后可完全去除;同時NH,易被吸收形成氨水,但仍有少量殘留,不能直接排放,且H2需要進一步處理。

3、化學法(酸吸收法)

化學法采用化學試劑與廢氣中的氨發生化學反應生成較為穩定的化學物質后沉淀分離,使得廢氣中的NH3得到脫除。

關于各類廢氣處理方法和尾氣處理設備，皆有優缺點和適用范圍。如以上三種方法都可使廢氣達標，但在資源回收上都各有些欠缺：（1）燃燒法不能回收NH3和H2，資源浪費嚴重；（2）水吸收法能得到低濃度氨水產品，但一般需提濃處理后才能回用于工業生產；（3）酸吸收法回收得到銨鹽溶液，需進--步分離和提純才形成銨鹽產品，而銨鹽分離提純過程存在能耗大、費用高等問題，且銨鹽品質有待提高。

在尾氣處理設備中還有一種Local Scrubber的小型尾氣處理時設備，處理小流量廢氣，為就近初步處理工藝廢氣，避免廢氣在管道中滯留發生變化導致事故，有時也作為廢氣應急設備。其中，吸附式的尾氣處理設備就是采用種類多樣的吸附材（吸附劑）來吸附所要處理廢氣中的氣體組分，有幾乎可處理所有廢氣，處理效率高、處理過程中無明火、無廢水和低耗能等特點。

綜上，LED外延片生產過程中金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)工藝廢氣中含有大量NH3和H2，須通過尾氣處理設備中處理方法凈化后方可排入大氣。最后，感謝您的閱讀！