TFT-LCD（薄膜晶體管液晶顯示屏）是一種基礎技術，自二十世紀九十年代開始民用以來，它已成為現代生活不可或缺的組成部分，其應用遠不限于電視機和智能手機，它存在于我們日常生活中的方方面面：手表（可穿戴設備）、電器、廣告、標牌、汽車等。今天主要介紹一下顯示制造工藝所需要的特種氣體，和保證氣體安全輸送使用的特氣系統。

TFT顯示屏制造與半導體器件制造方面有很多相似之處，比如：這兩種制造過程中都需要使用大量氣體、比如工藝步驟中的沉積、刻蝕、清潔和摻雜，還有其他步驟使用的氣體類型也都比較相似。

這些氣體中電子特種氣體（ESG）包括硅烷、三氟化氮、氟（現場產生）、六氟化硫、氨氣以及磷化氫混合物，占顯示屏制造中使用氣體的52％。比如硅烷：SiH4是顯示屏制造中最關鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結合使用，形成用于非晶硅（a-Si）晶體管的氮化硅層，與氮氣（N2）結合使用，形成用于低溫多晶硅（LTPS）晶體管的預準分子激光退火非晶硅（a-Si），或與氧化亞氮（N2O）結合使用形成金屬氧化物（MO）晶體管的氧化硅層。

TFT-LCD中的特氣系統

為保證TFT顯示屏制造中易燃易爆、劇毒性和腐蝕性等危險性電子特種氣體的安全使用，都會安裝特氣系統。特氣系統由半導體SEMI S2認證的特氣柜（GC）、特氣架（GR）、VMB/VMP以及特氣管道組成，保證如硅烷、笑氣（N2O）等特種氣體的安全輸送。

綜上，TFT-LCD顯示屏制造中PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）、蝕刻、LTPS和MO晶體管的生產都需要使用特種氣體，而特氣系統中的SEMI S2認證的特氣柜（GC）、特氣架（GR）、VMB/VMP以及特氣管道保證特種氣體的安全輸送，并保證氣體純度和穩定壓力。