特氣站房的分類

　　特種氣體在半導體行業應用比較多，一些用氣量大的工廠需要建立特種氣體站房，特種氣體在分類和設計上需要注意很多問題。本文主要講特氣站房的分類。

　　特氣體行業應用現狀

　　目前，在國內外大環境形勢下，半導體產業如火如荼的發展。一方面，受美國等發達國家制裁，國內半導體行業遭遇了產品供應的難題，另一方面，國家大力扶持發展國有芯片和技術，很多新建廠房在大陸開花結果，星火燎原。那么建廠初期如何進行氣站的分類，一方面要結合現實情況，一方面要符合國標規定。
　　特種氣體設計要求

　　特種氣體應根據其物理化學性能及安全特性進行分類和工程設計。

　　特氣站房分類

　　沃飛科技根據特氣設計案例中，結合GB-50646-2011規范總結出特氣站房的分類：

特種氣體站房分類規定

　　1、可燃性特種氣體間應為甲類;

　　2、毒性氣體間、腐蝕性氣體間、氧化性氣體間應為乙類;

　　3、惰性氣體間應為戊類;

　　4、生產廠房內的特種氣體間根據氣體性質宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間、腐蝕性氣體間、惰性、氧化性氣體間等。

　　5、硅烷、氨氣等大宗特種氣體系統的設備應布置在獨立的特種氣體站內。